ضخامت‌سنج سوزنی دستگاه اندازه‏‌گیری است که با استفاده از تکنیک سوزنی (stylus) بر پایه تغییرات اپتیکی می‏‌توان کیفیت سطح، میزان زبری و ضخامت آن را  اندازه‏‌گیری کرد. البته کارایی اصلی این دستگاه در ضخامت‏ سنجی می‌باشد. دستگاه موجود قادر به اندازه‌گیری ضخامت بین 70 نانومتر تا حداکثر 70 میکرومتر می‌باشد، هرچند دقت دستگاه در ضخامت‌های بالاتر بیشتر بوده و زیر 100 نانومتر نیاز به تست بیشتر و تکرارپذیری بیشتر می‌باشد میزان اسکن دستگاه بر روی سطح 1 میلی‏متر می‌‏باشد. بدیهی است که برای اندازه‏‌گیری ضخامت لایه باید لبه تیزی ( پله فیزیکی ) فراهم آورد.